Narůstající požadavky polovodičového průmyslu nutí firmy k vývoji stále dokonalejších optických elementů a také optických vrstev a to zejména v oblasti DUV a NIR. Problematika odolnosti optických vrstev se dostala do popředí s postupným zaváděním výkonových optických zdrojů do průmyslových odvětví. Jde o stále se rozvíjející aplikace v oblasti litografie, laserového řezání, optického kontaktování nebo pájení. Tyto vysokovýkonové lasery potřebují optické sestavy pro přenesení a formování svazku do pracovního prostoru. Tyto sestavy, čítající optické skla a funkční optické vrstvy, musí být schopné bez poškození přenést dané hustoty výkonu. Z optického hlediska tak jde o přenos optického svazku o velmi vysoké energetické hustotě na substrát.

Popis anglicky
The main goal of the project is the research and development of high-value optical elements - laser induced resistant anti-reflective and high-reflectance optical elements for specific wavelengths of 266 nm with a resistance of 1500 W / cm2, 1 030 nm with a resistance of 0.3 J / cm2, and 2 000 nm with a resistance of 3 000 W / cm2 in co-operation with the group of Fabrication and Characterization of Nanostructures at CEITEC BUT and with the expectation of implemantation of production process within the Meopta-optika, s.r.o.

Klíčová slova
optika;lasery;polovodiče;SEM;TEM;SIMS;XPS;SPM

Klíčová slova anglicky
LIDT, high power laser, optical coating, fused silica, DUV, NIR