Detail předmětu

Microelectronic technologies

FEKT-DME2AAk. rok: 2012/2013

The subject is focused on a study of the microelectronic technologies using seminary and self-study. Students will take-up overview about elemental and advanced methods and techniques, material utilization, and rules for microstructure creation. They will know how to take bearings in areas of the design and fabrication, as well about utilization of nanotechnologies in microelectronics.

Jazyk výuky

angličtina

Počet kreditů

4

Garant předmětu

prof. Ing. Jaromír Hubálek, Ph.D.

Zajišťuje ústav

Ústav mikroelektroniky (UMEL)

Výsledky učení předmětu

Preview of the mehods and techniques in thin-film and semicoductor technology, design skill of the microstructures and nanostructures using advanced techniques of fabrication.

Prerekvizity

no

Plánované vzdělávací činnosti a výukové metody

Teaching methods depend on the type of course unit as specified in the article 7 of BUT Rules for Studies and Examinations.

Způsob a kritéria hodnocení

oral examine

Osnovy výuky

Elemental methods for the thin-film deposition, materials in the thin-film technology, topography design, lithography, anisotropic and isotropic etching of the microstructures, the thermal and chemical oxidation, anodization, impurity diffusion, passive layers, modern methods of the microstructure creation, MEMS, nanotechnology and nanoelectronics, NEMS.

Učební cíle

Student is going to familiarize with the elemental and advanced methods and techniques for the microstructures and semiconductor devices fabrication, with materials, rules for their creation and modern nanotechnologies in semiconductor industry.

Zařazení předmětu ve studijních plánech

  • Program EKT-PKA doktorský

    obor PKA-EST , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PKA-TLI , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PKA-TEE , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PKA-MVE , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PKA-FEN , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PKA-BEB , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PKA-MET , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PKA-SEE , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PKA-KAM , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový

  • Program EKT-PPA doktorský

    obor PPA-TEE , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PPA-SEE , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PPA-EST , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PPA-BEB , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PPA-MET , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PPA-MVE , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PPA-TLI , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PPA-FEN , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový
    obor PPA-KAM , 1 ročník, letní semestr, volitelný oborový

Typ (způsob) výuky

 

Seminář

39 hod., nepovinná

Vyučující / Lektor

prof. Ing. Jaromír Hubálek, Ph.D.