Detail projektu

Společná laboratoř pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ČFP AV ČR v Praze

Období řešení: 01.01.1996 — 31.12.2000

Zdroje financování

Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR - Posílení výzkumu na vysokých školách

- plně financující

Označení

VS96084

Originální jazyk

čeština

Řešitelé

Janča Jan, prof. RNDr., DrSc. - hlavní řešitel

Útvary

Fakulta strojního inženýrství
- příjemce (01.01.1996 - 31.12.2000)

Výsledky

OHLÍDAL, I., OHLÍDAL, M., FRANTA, D., TYKAL, M. Comparison of optical and non-optical methods for measuring surface roughness. In 11th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics. Proceedings of SPIE. Proceedings of SPIE. Washington, USA: SPIE-The International Society for Optical Engineering, 1999. p. 456-467. ISBN: 0-8194-3306-3. ISSN: 0277-786X.
Detail

FRANTA, D., OHLÍDAL, I., KLAPETEK, P., POKORNÝ, P., OHLÍDAL, M. Analysis of inhomogeneous thin films of ZrO2 by the combined optical method and atomic force microscopy. Surface and Interface Analysis, 2001, vol. 2001 (32), no. 1, p. 91 ( p.)ISSN: 0142-2421.
Detail

OHLÍDAL, I., FRANTA, D., OHLÍDAL, M., NAVRÁTIL, K. Determination of thicknesses and spectral dependences of refractive indices of non-absorbing and weakly absorbing thin films using the wavelengths related to extrema in spectral reflectances. Vacuum, 2001, vol. 61, no. 1, p. 285-289. ISSN: 0042-207X.
Detail

OHLÍDAL, I.; FRANTA, D.; PINČÍK, E.; OHLÍDAL, M. Complete optical characterization of the SiO2/Si system by spectroscopic ellipsometry, spectroscopic reflectometry and atomic force microscopy. Surface and Interface Analysis, 1999, vol. 28, no. 1, p. 240 ( p.)ISSN: 0142-2421.
Detail

Odpovědnost: Janča Jan, prof. RNDr., DrSc.