Detail projektu
Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku (MEMS)
Období řešení: 15.11.2006 — 1.12.2011
Zdroje financování
Ministerstvo průmyslu a obchodu ČR - Trvalá prosperita
Označení
2A-1TP1/143
Originální jazyk
čeština
Řešitelé
Vrba Radimír, prof. Ing., CSc. - hlavní řešitel
Útvary
Ústav mikroelektroniky
- odpovědné pracoviště (2.12.2006 - nezadáno)
Ústav mikroelektroniky
- příjemce (2.12.2006 - nezadáno)
Výsledky
ADÁMEK, M.; ŠTEKOVIČ, M.; SZENDIUCH, I. Thick Film 3-D Electrode Configuration for Electrochemical Applications. In 4TH ELECTRONICS SYSTEM INTEGRATION TECHNOLOGIES CONFERENCE ESTC 2012. 1. Amsterdam: Medicongress, Kloosterstraat 5, B-9960 Assenede, Belgium, 2012. p. 1-6. ISBN: 978-1-4673-4644-3.
Detail
ADÁMEK, M.; SCHNEDERLE, P.; SZENDIUCH, I.; LIPAVSKÝ, L. The Properties Comparison of Solder Joints on Ceramic and FR-4 Substrates. In 4TH ELECTRONICS SYSTEM INTEGRATION TECHNOLOGIES CONFERENCE ESTC 2012. 1. Amsterdam, NL: Medicongress, Kloosterstraat 5, B-9960 Assenede, Belgium, 2012. p. 1-5. ISBN: 978-1-4673-4644-3.
Detail
BURŠÍK, M.; SZENDIUCH, I.; JANKOVSKÝ, J. Dispensing process with additional ultrasonic energy. In Proceedings of 18th European microelectronics packaging conference EMPC 2011. Brighton, UK: IMAPS-Europe, 2011. p. 476-479. ISBN: 978-0-9568086-0-8.
Detail
PAVLÍK, M.; HÁZE, J.; KLEDROWETZ, V. Design of the 12bits Delta-Sigma Modulator using SC Technique. Radioengineering, 2012, vol. 21, no. 1, p. 246-252. ISSN: 1210-2512.
Detail
PEKÁREK, J.; VRBA, R.; CHOMOUCKÁ, J.; DRBOHLAVOVÁ, J.; BUŠINOVÁ, P.; PRÁŠEK, J.; MAGÁT, M.; HRDÝ, R.; HUBÁLEK, J. Příprava samostatně stojících nanotrubic metodou plasmochemické depozice z plynné fáze. In Odborný seminář organizovaný International Microelectronics and Packaging Society. Sborník příspěvků. Brno: NOVPRESS s.r.o., 2011. s. 32-33. ISBN: 978-80-214-4404-1.
Detail
PEKÁREK, J.; VRBA, R.; MAGÁT, M.; KULHA, P. Possible Applications of Freestanding Carbon Nanotubes in MEMS Technology. In NANOCON 2011 - Conference Proceedings. 1. Ostrava: Tanger Ltd., 2011. p. 491-495. ISBN: 978-80-87294-27-7.
Detail
PEKÁREK, J.; VRBA, R.; MAGÁT, M.; PAVLÍK, M.; HÁZE, J. Testing of Novel Device for Anodic Bonding process in MEMS Application. Electronics, 2011, vol. 5, no. 2, p. 180-182. ISSN: 1313-1842.
Detail
HÁZE, J.; PEKÁREK, J.; MAGÁT, M.; PAVLÍK, M.; VRBA, R. Design, modeling and fabrication of novel MEMS structure utilizing carbon nanotubes. In Proceedings of 18th European microelectronics packaging conference EMPC 2011. Brighton: 2011. p. 79-83. ISBN: 978-0-9568086-0-8.
Detail
PEKÁREK, J.; PAVLÍK, M.; VLACH, R.; VRBA, R.; MAGÁT, M.; HÁZE, J.; MAREČEK, K.; Vysoké učení technické v Brně, Brno, CZ , BD SENSORS, s. r. o., Buchlovice, CZ: Zařízení pro anodické pájení. 22520, užitný vzor. Praha (2011)
Detail
PAVLÍK, M.; MAGÁT, M.; PEKÁREK, J.; HÁZE, J.; VRBA, R.: ABoD Driver; ABoD Driver. T10 - N.6.36. URL: http://www.umel.feec.vutbr.cz/vyzkum/vysledky/software/. (software)
Detail
HÁZE, J.; PAVLÍK, M.; PEKÁREK, J.; VRBA, R.; VLACH, R.; MAGÁT, M.: ABoD; Zařízení pro anodické pájení. Technická 10 - 0.67. (prototyp)
Detail
PAVLÍK, M.; HÁZE, J.: NEMS Datalog; Prototyp měřicího zařízení pro měření chování senzoru tlaku založeného na strukturách NEMS. U4 - 217. (prototyp)
Detail
HÁZE, J. MOŽNOSTI VYUŽITÍ OBVODŮ PRO ZPRACOVÁNÍ SIGNÁLŮ V APLIKACÍCH SE SENZORY TLAKU. Brno: VUT Brno, 2009.
Detail
HÁZE, J.; VRBA, R.; FICEK, R.; PAVLÍK, M.; MAGÁT, M. Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku - výzkumná zpráva k řešení projektu výzkumu a vývoje. 1. 2007. s. 1-44.
Detail
VRBA, R., FICEK, R. Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku. 1. Buchlovice: MPO ČR, 2006. s. 0 ( s.)
Detail
PAVLÍK, M.; MAGÁT, M.; ZAPLETAL, P. Evaluation of the delta-sigma modulator coefficients by genetic algorithm. ElectroScope - http://www.electroscope.zcu.cz, 2010, vol. 2010, no. 3, p. 1-5. ISSN: 1802-4564.
Detail
HÁZE, J.; VRBA, R.; PAVLÍK, M.; PEKÁREK, J. A Novel Laboratory Anodic Bonding Device for MEMS Applications. ElectroScope - http://www.electroscope.zcu.cz, 2010, vol. 2010, no. 3, p. 24-26. ISSN: 1802-4564.
Detail
HÁZE, J.; VRBA, R.; PAVLÍK, M. A novel hybrid integrated system for capacitive pressure MEMS sensors. ElectroScope - http://www.electroscope.zcu.cz, 2009, vol. 2009, no. 3, p. 41-44. ISSN: 1802-4564.
Detail
PEKÁREK, J.; VRBA, R.; MAGÁT, M.; JAŠEK, O. Preparation of freestanding carbon nanotubes using plasma enhanced chemical vapor deposition. In ISSE 2011, 34th International Spring Seminar on Electronics Technology, Conference Proceedings. 1. Košice: Technical University of Košice, 2011. p. 515-518. ISBN: 978-1-4577-2112-0.
Detail
HÁZE, J.; PEKÁREK, J.; VRBA, R. Laboratorní zařízení pro anodické pájení. In Mikrosyn. Nové trendy v mikroelektonických systémech a nanotechnologiích. Brno: NOVPRESS Brno, 2010. s. 6-9. ISBN: 978-80-214-4229-0.
Detail
Odpovědnost: Vrba Radimír, prof. Ing., CSc.