Detail projektu

Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra

Období řešení: 01.01.2019 — 31.12.2022

Zdroje financování

Ministerstvo průmyslu a obchodu ČR - TRIO

- plně financující (2019-05-01 - 2022-12-31)

O projektu

Viz cíle níže

Popis anglicky
Main aims of submitted project are the following: 1. Total optical characterization of single coating layers used in multilayer systems, that means coating layers of Al2O3, MgF2, HfO2 and SiO2 materials. 2. Development of antireflection coatings on glass substrates with required values of transmittance for wavelengths 213 nm and 248 nm and for normal angle of incidence. Fabrication of samples on the basis of design and optical characterization of these samples. Modification of technological conditions of coating and production of optimized samples. Control of achieved optimization through measurement of spectral dependence of reflectance and transmittance. 3. Development of mirrors with high reflectance on glass substrates with required average reflectance values for wavelengths 248 nm and 213 nm and for 45°angle of incidence. Fabrication of samples on the basis of designs together with optical characterization. Modification of technological conditions of coating and production of optimized samples. Control of achieved optimization through measurement of spectral dependence of reflectance. 4. Development of beam splitter on glass substrates with required p-value of transmittance or for average transmittance for wavelength 248 nm and with required s-value of reflectance for wavelengths 630 nm – 670 nm and for 45°angle of incidence. Fabrication of samples on the basis of design together with optical characterization. Modification of technological conditions of coating and production of optimized samples. Control of achieved optimization through measurement of spectral dependence of reflectance and transmittance. 5. Measurement of internal tensile stress and parameters to characterize mechanical properties of coating layers and multi-layer systems for assessment of lifetime joint with control of surface uniformity of their optical parameters.

Klíčová slova
Návrh a optická charakterizace vrstevnatých systémů; antireflexní pokrytí; zrcadla s vysokou odrazivostí; děliče světelných svazků; zdokonalení technologických postupů; realizace optimalizovaných zrcadel, děličů a antireflexních pokrytí;

Klíčová slova anglicky
Design and optical characterization of multi-layer systems- antireflection coatings, high reflectance mirrors, beam splitters- improvement of technological processes- realization of optimized mirrors, beam splitters and antireflection coatings-

Označení

FV40328

Originální jazyk

čeština

Řešitelé

Ohlídal Miloslav, prof. RNDr., CSc. - hlavní řešitel

Útvary

Ústav fyzikálního inženýrství
- příjemce (11.10.2018 - nezadáno)

Výsledky

NEČAS, D.; KLAPETEK, P.; VALTR, M. Estimation of roughness measurement bias originating from background subtraction. Measurement Science and Technology, 2020, vol. 31, no. 9, p. 094010-1 (094010-15 p.)ISSN: 0957-0233.
Detail

NEČAS, D.; VALTR, M.; KLAPETEK, P. How levelling and scan line corrections ruin roughness measurement and how to prevent it. Scientific Reports, 2020, vol. 10, no. 1, p. 1-15. ISSN: 2045-2322.
Detail

ŠUSTEK, Š.; VOHÁNKA, J.; OHLÍDAL, I.; OHLÍDAL, M.; ŠULC, V.; KLAPETEK, P.; KAUR, N. Characterization of randomly rough surfaces using angle-resolved scattering of light and atomic force microscopy. Journal of Optics, 2021, vol. 23, no. 10, p. 105602-105602. ISSN: 2040-8986.
Detail

VOHÁNKA, J.; OHLÍDAL, I.; BURŠÍKOVÁ, V.; KLAPETEK, P.; KAUR, N. Optical characterization of inhomogeneous thin films with randomly rough boundaries. OPTICS EXPRESS, 2022, vol. 30, no. 2, p. 2033-2047. ISSN: 1094-4087.
Detail

OHLÍDAL, I.; VOHANKA, J.; BURŠÍKOVÁ, V.; DVOŘÁK, J.; KLAPETEK, P.; KAUR, N. Optical characterization of inhomogeneous thin films with randomly rough boundaries exhibiting wide intervals of spatial frequencies. OPTICS EXPRESS, 2022, vol. 30, no. 21, p. 39068-39085. ISSN: 1094-4087.
Detail

VOHÁNKA, J.; ŠULC, V.; OHLÍDAL, I.; OHLÍDAL, M.; KLAPETEK, P. Optical method for determining the power spectral density function of randomly rough surfaces by simultaneous processing of spectroscopic reflectometry, variable-angle spectroscopic ellipsometry and angle-resolved scattering data. Optik, 2023, vol. 280, no. 170775, ISSN: 1618-1336.
Detail

PEKAŘ, V.; BŘEZINA, J.; ŠKODA, D.; OHLÍDAL, I.; VOHÁNKA, J.; FRANTA, D.; FRANTA, P.; DVOŘÁK, J.; OHLÍDAL, M.; ŠULC, V.; KLAPETEK, P.; HAVLÍČEK, M.: MEO_DP0026_2021_GFUNK02; Vysoceodrazná vrstva na substrátu ve specifikaci R >= 98,5 % @ 248 nm a R >= 98 % @ 213 nm pro úhel dopadu 45. Meopta – optika, s.r.o. Kabelíkova 2682/1 750 02 Přerov. (funkční vzorek)
Detail

PEKAŘ, V.; BŘEZINA, J.; ŠKODA, D.; OHLÍDAL, I.; VOHÁNKA, J.; FRANTA, D.; FRANTA, P.; OHLÍDAL, M.; ŠULC, V.; KLAPETEK, P.; HAVLÍČEK, M.: MEO_DP0026_2020_GFUNK01; Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm. Meopta – optika, s.r.o. Kabelíkova 2682/1 750 02 Přerov. (funkční vzorek)
Detail

PEKAŘ, V.; BŘEZINA, J.; ŠKODA, D.; OHLÍDAL, I.; VOHÁNKA, J.; FRANTA, D.; FRANTA, P.; DVOŘÁK, J.; OHLÍDAL, M.; ŠULC, V.; KLAPETEK, P.; HAVLÍČEK, M.: MEO_DP0026_2022_GFUNK03; Soubor dělicích vrstev ve specifikaci s parametry prvního děliče Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; druhého děliče Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % na vlnové délce 248 nm a zvýšenou propustností v oblasti od 630 nm do 670 nm. Meopta – optika, s.r.o. Kabelíkova 2682/1 750 02 Přerov. (funkční vzorek)
Detail

Odpovědnost: Ohlídal Miloslav, prof. RNDr., CSc.