Project detail

Optical and mechanical properties of DLC : Si thin films prepared by the PECVD method

Duration: 01.01.2001 — 31.12.2003

Funding resources

Czech Science Foundation - Standardní projekty

- whole funder (2001-01-01 - 2003-12-31)

On the project

Cílem projektu je pro vest systematické studium optických a mechanických vlastností tenkých vrstev DLC (diamond like carbon) obsahujících příměsi křemíku (DLC:Si). V rámci tohoto studia bude použita nová optická metoda založená na kombinaci spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie, která spolu s modelem vrstev DLC:Si respektujícím poruchy těchto vrstev a spolu s novým modelem disperze optických konstant amorfních pevných látek umožní měření optických parametrů reprezentujících optické vlastnosti zmíněných vrstev. Pomocí standardních mikrovtiskových i moderních nanovtiskových metod budou určeny podstatné mechanické veličiny vrstev DLC:Si umožňující jednoznačně popsat mechanické vlastnosti těchto vrstev.

Description in English
The aim of this project is to perform the systematic study of the optical and mechanical properties of diamond like carbon (DLC) thin films containing silicon (DLC:Si). Within this study a new optical method based on combining spectroscopic ellipsometry

Mark

GA202/01/1110

Default language

Czech

People responsible

Klenovský Pavel, RNDr. - fellow researcher
Ohlídal Miloslav, prof. RNDr., CSc. - fellow researcher
Ohlídal Ivan, prof. RNDr., DrSc. - principal person responsible

Units

Faculty of Mechanical Engineering
- (2001-01-01 - 2003-12-31)

Results

OHLÍDAL, M.; PRAŽÁK, D. Surface roughness determination by digital laser speckle spectral correlation-Fresnel approximation of scalar Kirchhoff theory. In ICO XIX, Optics for the Quality of Life. Washington: SPIE - The InternationalSociety for Optical Engineering, 2002. p. 495-496. ISBN: 0-8194-4569-7.
Detail

OHLÍDAL, I.; OHLÍDAL, M.; KLAPETEK, P.; ČUDEK, V.; JÁKL, M. Characterization of thin films non-uniform in optical parameters by spectroscopic digital reflectometry. In Proceedings of SPIE. Proceedings of SPIE. Wave-Optical Systems Engineering II. Bellingham, Washington, USA: SPIE-The International Society for Optical Engineering, 2003. p. 260-271. ISBN: 0-8194-5055-3. ISSN: 0277-786X.
Detail

OHLÍDAL, I., FRANTA, D., OHLÍDAL, M., NAVRÁTIL, K. Determination of thicknesses and spectral dependences of refractive indices of non-absorbing and weakly absorbing thin films using the wavelengths related to extrema in spectral reflectances. Vacuum, 2001, vol. 61, no. 1, p. 285-289. ISSN: 0042-207X.
Detail

OHLÍDAL, M., PÁLENÍKOVÁ, K. Možnosti optického profilometru MicroProf FRT při 3D hodnocení kvality povrchu. 2004, roč. 49, č. 9, s. 251 ( s.)ISSN: 0447-6411.
Detail

OHLÍDAL, M., OHLÍDAL, I., FRANTA, D., KRÁLÍK, T., JÁKL, M., ELIÁŠ, M. Optical characterization of thin films non-uniform in thickness by a multiple-wavelength reflectance method. Surface and Interface Analysis, 2002, vol. 34, no. 1, p. 660 ( p.)ISSN: 0142-2421.
Detail

OHLÍDAL, M., OHLÍDAL, I., KLAPETEK, P., JÁKL, M., ČUDEK, V., ELIÁŠ, M. New Method for the Complete Optical Analysis of Thin Films Nonuniform in Optical Parameters. Japanese Journal of Applied Physics, 2003, vol. 2003, no. 7B, p. 4760 ( p.)ISSN: 0021-4922.
Detail

OHLÍDAL, M., PRAŽÁK, D. Digital laser speckle spectral correlation within the famework of the Fresnel approximation of the scalar Kirchhoff theory and its application in surface roughness measurement. Journal of Modern Optics, 2003, vol. 2003, no. 14, p. 2133 ( p.)ISSN: 0950-0340.
Detail

OHLÍDAL, I., FRANTA, D., OHLÍDAL, M., NAVRÁTIL, K. Optical characterization of nonabsorbing and weakly absorbing thin films with the wavelengths related to extrema in spectral reflectances. Applied Optics, 2001, vol. 2001 (40, no. 31, p. 5711 ( p.)ISSN: 0003-6935.
Detail

Responsibility: Ohlídal Ivan, prof. RNDr., DrSc.