Detail projektu

Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev

Období řešení: 01.01.1998 — 31.12.2000

Zdroje financování

Grantová agentura České republiky - Standardní projekty

- plně financující

O projektu

Popis anglicky
The project proposal is aimed at a design and construction of the compact equipment for in-situ measurement of thin film surface homogeneity. This equipment consists of a stable source of white light, CCD camera and dual spectrophotometer. The function of the instrument (based on an original method of the detection of the white light scattered from the growing thin film in a CCD camera) will be verified via its installation onto a vacuum deposition chamber containing two Kaufman's broad ion beam source-(IBAD). The results will be utilized in the deposition process control and thus we should be able to prepare the multilayer structures with a defined optical properties. The advantage of the apparatus is its wide applicability for in-situ control of thin films deposited by other technologies. In the project students of the Master and PhD degree cource will be involved.

Označení

GA101/98/0772

Originální jazyk

čeština

Řešitelé

Spousta Jiří, prof. RNDr., Ph.D. - hlavní řešitel

Útvary

Fakulta strojního inženýrství
- příjemce (01.01.1998 - 31.12.2000)

Výsledky

SPOUSTA, J., URBÁNEK, M., ŠIKOLA, T., NEBOJSA, A., CHMELÍK, R., ZLÁMAL, J., JIRUŠE, J. In situ measurements of surface homogeneity of optical parameters of weakly absorbing thin films. In 9th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA'01) Book of Abstracts. Avignon, France: P. Marcus, A. Galtayries, N. Frémy, 2001. p. 295 ( p.)
Detail

ŠIKOLA, T. Surfaces and Interfaces - Presence and Perspectives. In Juniormat '01 sborník. Brno: Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně, 2001. p. 74 ( p.)
Detail

URBÁNEK, M., ZLÁMAL, J. In situ plošné monitorování optických vlastnotí tenkých vrstev připravovaných metodou IBAD. In Juniormat '01 sborník. Brno: Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně, 2001. s. 274 ( s.)
Detail

LOPOUR, F., ŠIKOLA, T., SPOUSTA, J., DITTRICHOVÁ, L., BÁBOR, P., DUARTE, J., MATĚJKA, F. Etching of Microstructures and Modification of Solid Surfaces by Low Energy Ion Beams. In MicroMat 2000. Berlin: Editors: B. Michel, T. Winkler, M. Werner,H. Fecht, 2000. p. 919 ( p.)
Detail

ŠIKOLA, T., NEBOJSA, A., SPOUSTA, J., DITTRICHOVÁ, L., LOPOUR, F., ZLÁMAL, J., TICHOPÁDEK, P., KRÁL, J., RAFAJA, D., RANNO, L. Deposition of Thin Films/Multilayers by IBAD. In procedings of conference Metal 2000. Ostrava: VŠB Ostrava, 2000. p. 81 ( p.)
Detail

URBÁNEK, M.; SPOUSTA, J.; NAVRÁTIL, K.; SZOTKOWSKI, R.; CHMELÍK, R.; BUČEK, M.; ŠIKOLA, T. Instrument for thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry. Surface and Interface Analysis, 2004, vol. 36, no. 8, p. 1102 ( p.)ISSN: 0142-2421.
Detail

URBÁNEK, M., ŠIKOLA, T., NEBOJSA, A., SPOUSTA, J., DITTRICHOVÁ, L., CHMELÍK, R., ZLÁMAL, J., JIRUŠE, J. Monitoring of surface homogeneity of optical parameters of thin films. In Micromat 2000. Berlin: Editors: B. Michel, T. Winkler, M. Werner,H. Fecht, 2000. p. 604 ( p.)
Detail

URBÁNEK, M. Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev. In II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI. Brno: Vutium, 2000. s. 333 ( s.)
Detail

FRANTA, D., OHLÍDAL, I., KLAPETEK, P., POKORNÝ, P., OHLÍDAL, M. Analysis of inhomogeneous thin films of ZrO2 by the combined optical method and atomic force microscopy. Surface and Interface Analysis, 2001, vol. 2001 (32), no. 1, p. 91 ( p.)ISSN: 0142-2421.
Detail

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., ŠIKOLA, T., ZLÁMAL, J., CHMELÍK, R., HARNA, Z., JIRUŠE, J., JÁKL, M. In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev. Jemná mechanika a optika, 2001, roč. 46, č. 4, s. 143 ( s.)ISSN: 0447-6441.
Detail

SPOUSTA, J., ŠIKOLA, T., ZLÁMAL, J., URBÁNEK, M., NAVRÁTIL, K., JIRUŠE, J., CHMELÍK, R., NEBOJSA, A. In situ measurements of surface homogeneity of optical parameters of weakly absorbing thin films. Surface and Interface Analysis, 2002, vol. 34, no. 1, p. 664 ( p.)ISSN: 0142-2421.
Detail

URBÁNEK, M., ŠIKOLA, T., SPOUSTA, J., CHMELÍK, R., LOPOUR, F., ZLÁMAL, J., JIRUŠE, J. Zařízení k in situ sledování plošné homogenity růstu tenkých neabsorbujících vrstev. In Sborník abstraktů přednášek konference Optické vlastnosti pevných látek v základním výzkum a aplikacích. Brno: MU Brno, 2000. s. 17 ( s.)
Detail

Odpovědnost: Spousta Jiří, prof. RNDr., Ph.D.