Environmental scanning electron microscopy (ESEM) belongs to the last trends of microscopic methods. It enables working in the specimen chamber with pressures higher than in a standard SEM (approx. 103Pa in comparison with 10-3Pa) and observation of specimens in their natural wet state without previous preparation. A number of problems connected with this methodology has been solved, nevertheless, several imperfections are not finished yet. The project deals with one of them – detection of true secondary electrons using a way totally suppressing the influence of undesirable backscattered electrons. The principle of the detection is the exhaust of secondary electrons from the specimen placed in the environment of high pressure of gas to the environment of high vacuum, in which the scintillator with high electrode potential is placed. The secondary electrons are exhausted using the low electrostatic field to the space of two chambers with differentially pumped pressure of gas. These chambers are separated with apertures forming contemporarily electrostatic lenses. The focused electrons are accelerated in the vacuum chamber by the electrostatic field to the scintillator at origination of the signal. The second version of the detector uses a double space pumped immersion lens with the magnetic and electrostatic fields for transfer of secondary electrons from the specimen.

GA102/05/0886

čeština

Autrata Rudolf, prof. Ing., DrSc. - hlavní řešitel
Jirák Josef, doc. Ing., CSc. - spoluřešitel

Ústav elektrotechnologie
- odpovědné pracoviště (1.1.1989 - nezadáno)
Ústav elektrotechnologie
- příjemce (30.3.2004 - 31.12.2007)

ČERNOCH, P. DETEKCE SIGNÁLU SEGMENTOVÝM IONIZAČNÍM DETEKTOREM V ENVIRONMENTÁLNÍM SEM. Brno, Čerská Republika: Černoch Pavel, 2008. s. 1-129.
Detail

SKRIVANEK J. Vliv polohy scintilačního detektoru na úroveň signálu a kvalitu obrazu v ESEM. Elektrorevue - Internetový časopis (http://www.elektrorevue.cz), 2005, s. 1 ( s.)ISSN: 1213-1539.
Detail

Maxa J, Neděla V, Procházka P. Selection of PDM Information System. 2005, vol. 2005, no. 2, p. 170 ( p.)
Detail

Roubalíková L., Autrata R., Wandrol P. Připojení kompozitů k tvrdým zubním tkáním a morfologické srovnání efektu dvou adhezivních technik. 2005, roč. 53, č. 5, s. 92 ( s.)
Detail

Schauer, Petr - Autrata, Rudolf. Extended Algorithm for Optimization of Photon Transport in Scintillation Detector. 2005, vol. 6, no. 6, p. 55 ( p.)
Detail

Neděla V., Autrata R. Additional hydration methods for observation of wet samples in ESEM. 2005, vol. 6, no. 6, p. 218 ( p.)
Detail

Neděla V., Autrata R. Environmental scanning electron microscopy. Československý časopis pro fyziku, 2005, vol. 2005, no. 3, p. 251 ( p.)ISSN: 0009-0700.
Detail

Maxa J., Neděla V. Selection of PDM information System. International Conference on Engineering Education and Research "Progress Through Partnership", 2005, vol. 2005, no. 3, p. 453 ( p.)ISSN: 1562-3580.
Detail

NEDĚLA, V.; WEYDA, F.; ČERNOCH, P. Advantages of Study of Amber Fossils with Ionization Detector in Variable Pressure SEM. MICROSCOPY AND MICROANALYSIS, 2007, vol. 13, no. 3, p. 250-251. ISSN: 1431-9276.
Detail

NEDĚLA, V.; ROUBALÍKOVÁ, L.; ČERNOCH, P. Study of Tooth Root Surface Treated with Various Techniques Using Variable Pressure SEM. MICROSCOPY AND MICROANALYSIS, 2007, vol. 13, no. 3, p. 234-235. ISSN: 1431-9276.
Detail

NEDĚLA, V.; MAXA, J. Hydratační systém pro environmentální rastrovací elektronové mikroskopy. Jemná mechanika a optika, 2006, roč. 2006, č. 11-12, s. 329 ( s.)ISSN: 0447-6441.
Detail

JEŽEK, J.; ČIŽMÁR, T.; NEDĚLA, V.; ZEMÁNEK, P. Formation of long and thin polymer fiber using nondiffracting beam. 2006, vol. 14, no. 19, p. 8506 ( p.)
Detail

Autrata R.,Lencová B.,Neděla V. Detekce signálních elektronů v rastrovací elektronové mikroskopii. Československý časopis pro fyziku, 2006, roč. 2006, č. 4, s. 228 ( s.)ISSN: 0009-0700.
Detail

Jan LINHART. Studium obrazových kontrastů nevodivých a vlhkých vzorků v EREM. In PDS 2006 Sborník prací doktorandů oboru Elektronová optika. Brno: Ústav přístrojové techniky AVČR v Brně, 2006. s. 29 ( s.)ISBN: 80-239-7957-4.
Detail

NEDĚLA, V. Problematika detekce sekundárních a zpětně odražených elektronů ve vysokém tlaku EREM se zřetelem na studium vzorků obsahujících vodu. In PDS 2006. 5. Brno: 2006. s. 37-40. ISBN: 80-239-7957-4.
Detail

Neděla V., Linhart H., Autrata R. Detection of the True Secondary Electrons with a Newly Designed Ionization Detector for ESEM. In 16th International Microscopy Congress. Sapporo: 2006. p. 982 ( p.)
Detail

Neděla V., Autrata R. Additional hydration methods for observation of wet samples in ESEM. In Mikroskopie 2006. Nové Město na Moravě: 2006. p. 38 ( p.)
Detail

Neděla V., Maxa J., Autrata R. Environmental Scanning Electron Microscope Aquasem II - the Design and Applications. In Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instruments. 10th. Brno: Institute of Scientific Instruments of AS CR, 2006. p. 55 ( p.)ISBN: 80-239-6285-X.
Detail

J. Jirák, J. Linhart and V. Neděla. Scintillation SE Detector for Variable Pressure Microscopes. In Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments AS CR and the Czechoslovak Microscopy Society, 2006. p. 37 ( p.)ISBN: 80-239-6285-X.
Detail

Černoch P., Jirák J., Neděla V. Signal Detection with Segmental Ionization Detector. In Proceedings of 16th International Microscopy Congress, vol. 2. Sapporo, Japan: Publication committee of IMC16, 2006. p. 981 ( p.)
Detail

Odpovědnost: Autrata Rudolf, prof. Ing., DrSc.