Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail projektu
Období řešení: 01.01.1998 — 31.12.1998
Zdroje financování
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR - Prezentace výsledků výzkumu a vývoje
- plně financující
O projektu
Cílem projektu je prezentace výsledků týmu vedeného dr. Tomášem Šikolou (FS VUT) a skupiny prof. Josefa Humlíčka (PřF MU) ve společně rozvíjené oblasti iontově svazkových technologií a analýzy povrchů a tenkých vrstev na mezinárodní konferen (USA). Prezentace proběhne formou dvou ústních příspěvků, jednoho posteru a předáním rukopisů tří článků. Prezentované výsledky jsou vyústěním výzkumných aktivit obou skupin v rámci mezinárodního projektu COPERNICUS No. CIPA MŠMT na částečné hrazení výdajů spjatých s prezentací tvoří předpokládaný finanční příspěvek české strany k tomuto projektu financovanému EÚ.
Popis anglickyúdaj již není dostupný
Označení
PG98377
Originální jazyk
čeština
Řešitelé
Šikola Tomáš, prof. RNDr., CSc. - hlavní řešitel
Útvary
Fakulta strojního inženýrství- příjemce (01.01.1998 - 31.12.1998)
Výsledky
TICHOPÁDEK, P., ŠIKOLA, T., NEBOJSA, A., NAVRÁTIL, K., JURKOVIČ, P., ČECHAL, J. A Study of Thin Oxide Films by Ellipsometry and AR XPS. In 9th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA'01) Book of Abstracts. Avignon, France: P. Marcus, A. Galtayries, N. Frémy, 2001. p. 360 ( p.)Detail
VOBORNÝ, S.; MACH, J.; ČECHAL, J.; KOSTELNÍK, P.; TOMANEC, O.; BÁBOR, P.; SPOUSTA, J.; ŠIKOLA, T. Application of Complex UHV Apparaturus in a Study of Low-tepmerature Gallium-nitride Ultrathin Film Growth. Jemná mechanika a optika, 2004, vol. 9, no. 9, p. 265 ( p.)ISSN: 0447-6441.Detail
KALOUSEK, R., ŠIKOLA, T., LOPOUR, F., ŠKODA, D., BUŠ, V. Noncontact Scanning Force Microscopy – a Computer Simulation of Resolution Limits. In 9th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA'01) Book of Abstracts. Avignon, France: P. Marcus, A. Galtayries, N. Frémy, 2001. p. 285 ( p.)Detail
ŠIKOLA, T. Surfaces and Interfaces - Presence and Perspectives. In Juniormat '01 sborník. Brno: Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně, 2001. p. 74 ( p.)Detail
PRŮŠA, S., ŠIKOLA, T., VOBORNÝ, S., BÁBOR, P. Ion Scattering Spectrosopy - A Tool for Surface Analysis. In Juniormat '01 sborník. Brno: Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně, 2001. p. 86 ( p.)Detail
TICHOPÁDEK, P., NEBOJSA, A., ČECHAL, J. Ellipsometry - a tool for surface and thin film analysis. In Juniormat '01 sborník. Brno: Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně, 2001. p. 102 ( p.)Detail
VOBORNÝ, S., ZLÁMAL, J., BÁBOR, P. Deposition of Ultrathin Films - Optimalisation of Ion Beam Optics. In Juniormat '01 sborník. Brno: Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně, 2001. p. 281 ( p.)Detail
URBÁNEK, M., ZLÁMAL, J. In situ plošné monitorování optických vlastnotí tenkých vrstev připravovaných metodou IBAD. In Juniormat '01 sborník. Brno: Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně, 2001. s. 274 ( s.)Detail
LOPOUR, F., ŠIKOLA, T., SPOUSTA, J., DITTRICHOVÁ, L., BÁBOR, P., DUARTE, J., MATĚJKA, F. Etching of Microstructures and Modification of Solid Surfaces by Low Energy Ion Beams. In MicroMat 2000. Berlin: Editors: B. Michel, T. Winkler, M. Werner,H. Fecht, 2000. p. 919 ( p.)Detail
ŠIKOLA, T., NEBOJSA, A., SPOUSTA, J., DITTRICHOVÁ, L., LOPOUR, F., ZLÁMAL, J., TICHOPÁDEK, P., KRÁL, J., RAFAJA, D., RANNO, L. Deposition of Thin Films/Multilayers by IBAD. In procedings of conference Metal 2000. Ostrava: VŠB Ostrava, 2000. p. 81 ( p.)Detail
URBÁNEK, M., ŠIKOLA, T., SPOUSTA, J., CHMELÍK, R., LOPOUR, F., ZLÁMAL, J., JIRUŠE, J. Zařízení k in situ sledování plošné homogenity růstu tenkých neabsorbujících vrstev. In Sborník abstraktů přednášek konference Optické vlastnosti pevných látek v základním výzkum a aplikacích. Brno: MU Brno, 2000. s. 17 ( s.)Detail
MATĚJKA, F., LOPOUR, F., MATĚJKOVÁ, J. Možnosti testování metriky přístrojů STM a AFM. In 2. seminář o rastrovací tunelovací mikroskopii a příbuzných technikách. Praha: FÚ AVČR, 2000. s. 65 ( s.)Detail
URBÁNEK, M., ŠIKOLA, T., NEBOJSA, A., SPOUSTA, J., DITTRICHOVÁ, L., CHMELÍK, R., ZLÁMAL, J., JIRUŠE, J. Monitoring of surface homogeneity of optical parameters of thin films. In Micromat 2000. Berlin: Editors: B. Michel, T. Winkler, M. Werner,H. Fecht, 2000. p. 604 ( p.)Detail
BÁBOR, P. Analýza povrchů a tenkých vrstev metodu SIMS. In Juniormat '01 sborník. Brno: Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně, 2001. s. 131 ( s.)Detail
BÁBOR, P. In-situ monitorování povrchu pevných látek bombardovaných iontovým svazkem – návrh energiového filtru pro aplikaci v SIMS. In II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI. Brno: Vutium, 2000. s. 13 ( s.)Detail
JIRUŠE, J. Analýza struktury povrchů materiálů metodou difrakce pomalých elektronů (LEED). In II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI. Brno: Vutium, 2000. s. 121 ( s.)Detail
PRŮŠA, S. Monitorování povrchů pevných vzorků a ultratenkých vrstev pomocí ToF spektroskopie. In II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI. Brno: Vutium, 2000. s. 263 ( s.)Detail
TICHOPÁDEK, P. In-situ elipsometrie tenkých vrstev a povrchů. In II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI. Brno: Vutium, 2000. s. 329 ( s.)Detail
URBÁNEK, M. Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev. In II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI. Brno: Vutium, 2000. s. 333 ( s.)Detail
VOBORNÝ, S., ZLÁMAL, J. Optimalizace plazmatického iontového zdroje pro přímou depozici tenkých vrstev. In II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI. Brno: Vutium, 2000. s. 353 ( s.)Detail
PRŮŠA, S., ŠIKOLA, T., SPOUSTA, J., VOBORNÝ, S., BÁBOR, P., JURKOVIČ, P., ČECHAL, J. Application of TOF - LEIS and XPS for Surface Studies. In Materials Structure & Micromechanics of Fracture (MSMF-3). Brno: Vutium, 2001. p. 486 ( p.)ISBN: 80-214-1892-3.Detail
KALOUSEK, R., SCHMID, M. A study of metallic surfaces by UHV STM. In Materials Structure & Micromechanics of Fracture (MSMF-3). Brno: Vutium, 2001. p. 369 ( p.)ISBN: 80-214-1892-3.Detail
JURKOVIČ, P., ŠIKOLA, T., BÁBOR, P., ČECHAL, J. Studium ultratenkých vrstevnatých struktur. In Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice. Brno: FEI VUT v Brně, 2001. s. 364 ( s.)ISBN: 80-214-1992-X.Detail
KALOUSEK, R., ŠIKOLA, T., BUŠ, V., ŠKODA, D. Noncontact Scanning Force Microscopy - Principles and Simulations. In Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice. Brno: FEI VUT v Brně, 2001. p. 369 ( p.)ISBN: 80-214-1992-X.Detail
PÁTÍK, K.; ŠIKOLA, T.; LOPOUR, F. Design of Piezoelectric Manipulators for an Application in SPM instruments. In Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice. Brno: FEI VUT v Brně, 2001. p. 400 ( p.)ISBN: 80-214-1992-X.Detail
PRŮŠA, S., ŠIKOLA, T., BÁBOR, P. Application of ToF - LEIS for Analysis of Surfaces and Ultra Thin Films. In Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice. Brno: FEI VUT v Brně, 2001. p. 404 ( p.)ISBN: 80-214-1992-X.Detail
VOBORNÝ, S., ŠIKOLA, T., PRŮŠA, S., ZLÁMAL, J., BÁBOR, P. Diagnostics and optimization of ion source parameters. In Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice. Brno: FEI VUT v Brně, 2001. p. 304 ( p.)ISBN: 80-214-1992-X.Detail
TICHOPÁDEK, P.; ŠIKOLA, T.; NEBOJSA, A.; ČECHAL, J. Application of Spectroscopic Ellipsometry in Ultrathin Film Analysis. In Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice. Brno: FEI VUT v Brně, 2001. p. 415 ( p.)ISBN: 80-214-1992-X.Detail
LOPOUR, F., ŠIKOLA, T., ŠKODA, D. Fabrication of nanostructures by AFM local Oxidation. In Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice. Brno: FEI VUT v Brně, 2001. p. 394 ( p.)ISBN: 80-214-1992-X.Detail
LOPOUR, F., ŠIKOLA, T., SPOUSTA, J., KALOUSEK, R., MATĚJKA, F., ŠKODA, D. Application of AFM in Microscopy and in Fabrication of Micro/Nanostructures. In 9th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA'01) Book of Abstracts. Avignon, France: P. Marcus, A. Galtayries, N. Frémy, 2001. p. 320 ( p.)Detail
LENCOVÁ, B., ZLÁMAL, J., URBAN, P. Graphical inputs and outputs for electron optical computations. In Dreiländertagung für elektronenmikroskopie. A conference on Modern Microscopical methods. Innsbruck: Universität Innsbruck, 2001. p. 12 ( p.)Detail
LENCOVÁ, B. Recent development in methods for electron optical computations. In Microscopy 2001. Barcelona: University of Barcelona, 2001. p. 29 ( p.)Detail
KOLÍBAL, M., PRŮŠA, S., BÁBOR, P., BARTOŠÍK, M., TOMANEC, O., ŠIKOLA, T. Growth of gallium on sillicon: A TOF-LEIS and AFM study. In New Trend in Physics. Brno: VUT v Brně, 2004. p. 230 ( p.)ISBN: 80-7355-024-5.Detail
VOBORNÝ, S., MACH, J., KOLÍBAL, M., ČECHAL, J., BÁBOR, P., POTOČEK, M., ŠIKOLA, T. A study of Early Periods of GaN Ultrathin Film Growth. In New Trends in Pysics. Brno: VUT v Brně, 2004. p. 270 ( p.)ISBN: 80-7355-024-5.Detail
TICHOPÁDEK, P., NEBOJSA, A., ČECHAL, J. Konstrukce elipsometru pro měření tenkých vrstev a povrchů. Jemná mechanika a optika, 2001, roč. 46, č. 4, s. 136 ( s.)ISSN: 0447-6441.Detail
URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., ŠIKOLA, T., ZLÁMAL, J., CHMELÍK, R., HARNA, Z., JIRUŠE, J., JÁKL, M. In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev. Jemná mechanika a optika, 2001, roč. 46, č. 4, s. 143 ( s.)ISSN: 0447-6441.Detail
MATĚJKA, F., LOPOUR, F., MATĚJKOVÁ, J. Možnosti testování metriky přístrojů STM a AFM. Československý časopis pro fyziku, 2001, roč. 51, č. 1, s. 38 ( s.)ISSN: 0009-0700.Detail
KALOUSEK, R., DUB, P., ŠIKOLA, T., LOPOUR, F. Vibrational Analysis of the Cantilever in noncontact Scanning Force Microscopy. Surface and Interface Analysis, 2000, vol. 30, no. 1, p. 292 ( p.)ISSN: 0142-2421.Detail
ROUČKA, R., JIRUŠE, J., ŠIKOLA, T. Spot intensity processing in LEED images. Vacuum, 2002, vol. 65, no. 2, p. 121 ( p.)ISSN: 0042-207X.Detail
KOLÍBAL, M.; PRŮŠA, S.; BÁBOR, P.; ŠIKOLA, T. ToF-LEIS Analysis of ultra thin films: Ga and Ga-N layer growth on Si(111). Surface Science, 2004, vol. 566-568, no. 9, p. 885 ( p.)ISSN: 0039-6028.Detail
VOBORNÝ, S.; KOLÍBAL, M.; MACH, J.; ČECHAL, J.; BÁBOR, P.; PRŮŠA, S.; SPOUSTA, J.; ŠIKOLA, T. Deposition and in-situ charakterization of ultra-thin films. Thin Solid Films, 2004, vol. 459, no. 1-2, p. 17 ( p.)ISSN: 0040-6090.Detail
ČECHAL, J.; TICHOPÁDEK, P.; NEBOJSA, A.; BONAVENTUROVÁ, O.; URBÁNEK, M.; SPOUSTA, J.; NAVRÁTIL, K.; ŠIKOLA, T. In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS. Surface and Interface Analysis, 2004, vol. 38, no. 8, p. 1218 ( p.)ISSN: 0142-2421.Detail
BRANDEJSOVÁ, E.; ČECHAL, J.; BONAVENTUROVÁ, O.; NEBOJSA, A.; TICHOPÁDEK, P.; URBÁNEK, M.; NAVRÁTIL, K.; ŠIKOLA, T.; HUMLÍČEK, J. In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry. Jemná mechanika a optika, 2004, vol. 9, no. 9, p. 260 ( p.)ISSN: 0447-6441.Detail
KOLÍBAL, M.; PRŮŠA, S.; BÁBOR, P.; ŠIKOLA, T. Low energy ion scattering as a method for surface structure analysis. Jemná mechanika a optika, 2004, vol. 9, no. 9, p. 262 ( p.)ISSN: 0447-6441.Detail
SPOUSTA, J., URBÁNEK, M., ŠIKOLA, T., NEBOJSA, A., CHMELÍK, R., ZLÁMAL, J., JIRUŠE, J. In situ measurements of surface homogeneity of optical parameters of weakly absorbing thin films. In 9th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA'01) Book of Abstracts. Avignon, France: P. Marcus, A. Galtayries, N. Frémy, 2001. p. 295 ( p.)Detail